上交所官网显示，光刻机双工件台生产商北京华卓精科科技股份有限公司已进入受理阶段，继2015年登陆新三板后，该公司在科创板上市路程上再进一步。
招股说明书显示，华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务，目前属于国家鼓励类产业。
光刻机工件台是光刻机的核心子系统之一，被视为芯片高端装备领域“皇冠上的明珠”。其主要功能是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光。长期以来，全球的光刻机被ASML、尼康和佳能完全垄断，三者合计市场占有率高达99%，高端EUV光刻机市场更是由ASML一家独大。
招股书信息显示，华卓精科是国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，目前已成为上海微电子的光刻机双工件台供应商。
“作为上海微电子光刻机双工件台的供应商，公司与上海微电 子长期保持良好的合作关系，共同进行 IC 前道光刻机核心技术的研发和 IC 前道光刻机产品的生产，为国产光刻机崛起奠定了基础，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。”招股书写道。
财务数据显示，2019年、2018年和2017年华卓精科营收分别为1.21亿元（同比增速41%）、0.86亿元（同比增速58%）和0.54亿元； 2019年、2018年和2017年归母净利润分别为0.21亿元（同比增速38%）、0.15亿元（同比增速21%）和0.13亿元。
为鼓励集成电路行业的发展，我国中央财政给予大力支持。华卓精科在招股书中提供的数据显示，报告期内，公司收到的政府补助分别为6,936.83 万元、13,931.25 万元和 32,136.67 万元。
图片来源：上交所官网截图
来源：北京日报客户端|记者 孙奇茹
编辑：孙奇茹
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