张通社消息，近期，随着集成电路产业如何健康持续发展的讨论在国内广泛开展，集成电路装备的重要性得到越来越多的关注和支持。张江的集成电路装备企业睿励公司，近期成功融资1.2亿元，正是受益于当下日益改善的产业环境和浦东科创集团等机构的雪中送炭。
睿励长达数年处混沌状态
睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励公司”或“公司”）是2005年创立于张江的国内领先集成电路设备企业，致力于薄膜及OCD、光学缺陷检测、电子束缺陷检测三类检测设备的研发和产业化。睿励公司的检测设备已进入一流国际客户的大生产线，是唯一进入海外顶级存储芯片企业3D闪存生产线并在线使用的中国设备。
为了覆盖测量领域90%以上的市场，睿励公司曾同时研发四款产品。然而，由于一直没有得到足够的外部股权融资，零打碎敲获得的一些政府项目研发支持及投资根本是杯水车薪，远远不足以支撑四个项目团队同时运作，导致公司一直处在“饥饿状态”中艰难维持，其中两款更高难度的产品无法得到资源保证，难以按预定计划取得进展，而已研发出的产品又无力进行产业化拓展和技术性能的迭代研发升级。
时任董事长的创始人吕彤欣博士及团队为落实公司发展所需资金，四处奔波，所获有限。深知内情的人员回忆道：“吕总接触过很多投资人，包括产业基金、民营资本等。了解到睿励的行业地位，投资人们一开始都很感兴趣；可一看到公司的股权架构，再聊到实质性投资、如何退出、回报几何等，投资人们都面带难色，接触了一两次就没了下文了。”
吕彤欣博士当年的困境正是半导体行业融资难的真实写照。尤其是半导体前端工艺生产设备企业，由于研发时间久，回报周期长，在很长一段时期内，鲜有社会资本问津。
到2018年初，睿励的生产经营已处于停滞状态，员工薪资也得不到足额保障。吕彤欣博士更是拿出个人积蓄垫支员工社保薪酬。公司员工那段时间流失严重，员工数量从约150人锐减到50余人。“我们预想的是睿励最终可能会变成僵尸企业，人去楼空，被迫清算。可是，我们又不甘心。公司是2005年成立的，国产半导体设备在该领域的火种好不容易播下，多年的艰苦努力刚刚冒出的星火，怎能就此灰飞烟灭？小荷才露尖尖角啊！”相关知情人说道。
于是，在企业拼命谋求生路、为行业保留一星火种之时，人才挽留计划也同时进行。直至危机度过，公司的部分核心技术及客服支持成员还是留了下来，毅然决然地选择和公司同进退、共坚守。
命悬一线，前期重要的大客户订单成救命稻草
就在公司生存维艰之时，在团队的坚持努力和不懈沟通下，公司海外客户于2018年给公司又下了两台订单，这两台订单真可谓“救命”订单，关键时刻再次给了睿励一剂强心针！接到该订单，愁云惨淡的睿励也迎来了曙光，团队重振士气，积极准备订单的交付工作。怎奈当时睿励已经处于停滞状态、无力生产，公司只剩一台样机可以交付。而该海外客户同时表示，睿励若不能按期交货，将从此不再考虑与国产装备企业的合作。在完成第一台交付后，公司已处于山穷水尽地步，情急之下，考虑到该客户对于国产设备的发展及国际影响，公司积极争取国内客户的谅解和协助，按期交付了这台订单。
膜厚TFX3000
“在公司危难之际，大客户的不离不弃给了我们很大信心，也奠定了我们坚持的信念。当时团队想着无论如何都要保证客户的需求和服务，保住来之不易的客户信任。这也是公司能重新站起来的动力之一。”公司某高层成员如是说。
绝处逢生，行业同仁中微仗义相助
除了关键客户的认可和信赖外，睿励还有一位重情重义的行业同仁——中微半导体设备（上海）股份有限公司。
睿励和中微的情分匪浅，同为半导体前端工艺的两家企业于2005年先后成立，当时由时任浦东新区区委书记杜家豪同时揭牌。两家公司技术和产品虽不属同一领域，但均为集成电路生产线上的互补设备。
十几年间两家公司作为行业同仁中的互帮互助，在上述知情人的回忆中，充满着温情和感动。特别是在中微今年登陆科创板后，在上市后首次董事会即决议对睿励投资，股权上的投入，能够促成双方后续更为紧密的合作。从睿励所处的领域和两公司互补的市场格局来看，投资睿励在战略上对于中微继续拓展产业布局是非常好的一步，两公司的联手和协同发展可使得中微在半导体设备产业的战略地位更加稳固。
柳暗花明，中美贸易战神助攻
在睿励胶着的这一年中，外部环境也悄悄进行改变。唯有在最精密工艺生产设备上国产化，才能摆脱国产芯片产业被动、受制约的局面。在这个大背景下，拥有自主知识产权和产品的睿励价值日益凸显出来，投资环境也逐渐变得友好起来。
“不少投资人都想来参与。但我们考虑到股权结构及后续发展的需要，只选择了其中几家新增资本。”睿励最后敲定了浦东科创集团、上海同祺、海风投资等机构，完成了1.2亿元融资。
目前，睿励已暂时度过难关，并已补充招聘了数十名员工，主要分布在光学、算法以及软件领域。睿励亦恢复了正常的生产与研发，公司在积极恢复TFX 3000的销售同时，可满足客户更高要求的新一代膜厚测量设备产品TFX4000的研发已于今年年中正式启动，目前正紧锣密鼓的进行中。截止发稿前小编欣喜地获悉，睿励刚刚拿到国内另一半导体生产厂商的TFX 3000采购订单，值得庆贺的同时也感谢该厂商给予国产装备的支持和鼓励。相信凭借睿励在技术上的优势，越来越多的晶圆代工厂以及存储器厂能接受并承认国产的设备产品。
“雄关漫道真如铁，而今迈步从头越”，这句话恰好能印证睿励此时境况：突破层层迷障，终于守得云开见月明，迎来了下一个发展契机。在这里诚心祝愿“破茧重生”的睿励能继续无所畏惧、一往无前，无论前路多崎岖艰辛。也希望大环境（资本、政策、舆论）能呵护这株坚韧的嫩苗茁壮成长。让半导体设备早日摆脱欧美国家的制约，让国产半导体行业早日拥有属于自己的“中国芯”！
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